Система измерения FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ SEMI

Купить

Задать вопрос о товаре

В избранное

Сравнить

Система измерения FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ SEMI предназначена для автоматизированного контроля качества материалов на линиях сборки 2.5D/3D вполупроводниковой промышленности. Измеряет компоненты диаметром до 10 мкм.

Полная автоматизация рабочего процесса исключает загрязнение или повреждение дорогостоящих материалов пластины. При этом в любое время измерения есть возможность переключиться в ручной режим. Разработанный для использования в чистых помещениях, прибор XDV-μ SEMI обеспечивает закрытую среду тестирования.

Система применяется для измерения металлизированных слоёв в нанометровом диапазоне, исследования тонких бессвинцовых припоев на медных столбиковых выводах, анализа контактных поверхностей полупроводниковых пластин.

10–20мкм
Диаметр пятна измерения

Документы в PDF

Скачать карточку в формате PDF

Особенности

оптическое распознавание микроструктур ипластин, выбор предварительно запрограммированных точек измерения;
док-станция для стандартов FOUP, SMIF икассет, для пластин размером 6, 8 и 12 дюймов;
поликапиллярная оптика фокусирует пучок рентгеновского луча до 10 – 20 мкм;

представление данных на ПК, анализ и оценка измерений осуществляются с помощью программного обеспечения WinFTM;
эргономичный дизайн, крупные сервисные дверцы, лёгкий доступ к отдельным компонентам;
высокая чувствительность и разрешение детектора.

Технические характеристики

Загрузка пластин	до 3 BOLTS-совместимых загрузочных портов, подходящих для различных стандартных пластин SEMI 200/300 мм, адаптеры для меньших контейнеров икассет доступны по запросу
Автоматизация	4-осевая приводная роботизированная система
Рентгеновская оптика	поликапиллярная
Область измерения	Ø 10– 20 мкм
Рентгеновский детектор	кремниевый дрейфовый детектор большой площади
Позиционирование образцов	автоматическое, поддерживаются пластины диаметром до 300 мм (12 дюймов)
Выравнивание образцов	XY-платформа с абсолютной точностью в микрометровом диапазоне; лазерная указка для ручной предварительной настройки точки измерения
Видеомикроскоп	CCD-камера с высоким разрешением, 3-кратный оптический зум, 4-кратный электронный зум
Программное обеспечение	WinFTM, интегрированное взаимодействие с WaferWare