Масс-спектрометрический течеискатель ТИ1-22М «Цеолит»

Течеискатель ТИ1-22М сверхвысокочувствительный прибор, который предназначен для испытаний систем и объектов с повышенными требованиями к герметичности. Прибор снабжен цеолитовым насосом и ориентирован на работу в режиме накопления гелия. ТИ1-22М является комплексной системой для определения места и/или измерения потока течей.

Течеискатель ТИ1-22М обеспечивает все способы контроля герметичности масс-спектрометрическим методом с применением гелия в качестве пробного газа согласно ГОСТ 28517-90, в том числе и способ накопления. Течеискатель в процессе тестирования объекта способен выявить течи потоком до 7.10-14 Па.м3/с в производственных условиях.

Прибор прост в обслуживании, основные сервисные операции могут быть выполнены пользователем.Высокая чувствительность течеискателя обеспечивается уникальной откачной вакуумной системой прибора, которая содержит форвакуумный насос (сухой или масляный), гибридный турбомолекулярный насос, адсорбционный цеолитовый насос и азотную ловушку. ТИ1-22 работает в режимах «Без накопления» (противоток и прямоток), «Щуп» и «Накопление».

1  с
Время отклика по входу

Гелиевый течеискатель относится к специальному техническому оборудованию, принадлежит к группе индикаторных приборов и не подлежит поверке органами метрологического контроля. При измерениях потоков из мест нарушения герметичности используется метод сравнения с мерой потока (контрольная течь типа Гелит), которая, в свою очередь, подлежит контролю органами метрологического надзора.

Для обеспечения рабочего давления в камере анализатора (10-3 Па) и защиты испытуемых изделий от проникновения паров рабочих жидкостей насосов, в течеискателе используется охлаждаемая азотная ловушка емкостью 1 л и действием одной заправки жидкого азота в течение 16 ч. Течеискатель ТИ1-22М допускает непрерывную работу в течение 24 ч.

Течеискатель обеспечивает автоматическое управление включением насосов, клапанов, накала ионного источника, подстройку ускоряющего напряжения на «пик гелия», визуализацию сигнала ЭУ на экране прибора, сохранение измеренных значений.

50  15  л/с
Произволительность турбомолекулярного насоса по гелию

Кому будет полезен

  • изготовители герметизированных электронных компонентов (датчиков, реле, кварцевых кристаллов, язычковых переключателей и т.д.);
  • производители вакуумных ламп (телевизионных, электронно-лучевых трубок, ламп СВЧ);
  • работники научно-исследовательских лабораторий;
  • производители спутников, авиа- и космических аппаратов;
  • специалисты атомной отрасли;
  • инженеры научно-исследовательских и опытно-конструкторских организаций военно-промышленного комплекса.

Области применения

  • контроль герметичности электровакуумных, полупроводниковых и других герметизируемых малогабаритных приборов, их узлов и деталей;
  • выявление и локализация течей и контроль герметичности различных газонаполненных объектов и изделий;

 

  • выявление и локализация течей и контроль герметичности вакуумных систем и вакууммированных объектов в процессе их изготовления и эксплуатации.

Технические характеристики

Наименование характеристики, размерность Значение
Порог чувствительности течеискателя при высокочувствительных испытаниях (откачка цеолитовым насосом) с подачей гелия в течение 1 мин, не более, м3.Па/с 7.10-14
Порог чувствительности течеискателя при предварительных испытаниях (откачка турбомолекулярным насосом), не более, м3.Па/с 5.10-13
Порог чувствительности течеискателя при испытаниях способом щупа, не более, м3.Па/с 1.10-9
Время отклика по входу, не более, с 1
Время отклика с щупом 10 м, с 10±1
Произволительность турбомолекулярного насоса по гелию, л/с 50
Температура эксплуатации, 0С (+10)÷(+35)
Время выхода на рабочий режим (предварительные испытания / высокочувствительные испытания), мин 1 / 120
Напряжение питания, В 220±22
Потребляемая мощность, не более, Вт 400
Габаритные размеры течеискателя с блоком захолаживания, мм 478х480х321
Статическая и динамическая компенсация фонового сигнала наличие
Сенсорное и ручное управление с помощью энкодера наличие
Диапазон выявляемых потоков гелия, м3.Па/с 7.10-14 до 1.10-5
Нелинейность накопления гелия в высоковакуумном объеме течеискателя, изолированном от турбомолекулярного насоса, не более 3%

Течеискатель обеспечивает автоматическое управление включением насосов, клапанов, накала ионного источника, подстройку ускоряющего напряжения на «пик гелия», визуализацию сигнала ЭУ на экране прибора, сохранение измеренных значений.Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ТИ1-22М может быть укомплектован форвакуумными насосам следующих типов:

МодельФВН Скорость откачки, л/мин Предельное давление, Па Масса, кг Габариты, мм Расположение в течеискателе
Масляные насосы          
Telstar 2F-3, Испания 50 3 7 280*240*125 внутри корпуса
Telstar 2F-10, Испания 150 3 15,5 358*211*125 на тележке
ULVAC GLD-201B, США 200 0.67 29 515*250*170 на тележке
Advavac 20 (w2v40, v40-20), Канада 333 0.067 29 490*293*170 на тележке
Сухие спиральные насосы          
Anest Iwata ISP-90, Япония 90 5 14 308*214*225 на тележке
Edwards XDS10, Англия 150 7 23 427*288*249 на тележке
Anest Iwata ISP-250, Япония 250 1,5 25 400*252*336 на тележке